Microscope à balayage laser 3DSérie VK-X

VK-X105

Microscope laser de mesure de formes

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VK-X105 - Microscope laser de mesure de formes

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Modèle

VK-X105

Type

Appareil de mesure

Grossissement de l'objectif

Grossissement sur un moniteur 15" 100x

5x

Grossissement sur un moniteur 15" 200x

10x

Grossissement sur un moniteur 15" 400x

20x

Grossissement sur un moniteur 15" 1000x

50x

Plage d'observation/
de mesure

Sens horizontal (H): μm

Grossissement sur un moniteur 15" 100x

2700

Grossissement sur un moniteur 15" 200x

1350

Grossissement sur un moniteur 15" 400x

675

Grossissement sur un moniteur 15" 1000x

270

Sens vertical (V) : μm

Grossissement sur un moniteur 15" 100x

2025

Grossissement sur un moniteur 15" 200x

1012

Grossissement sur un moniteur 15" 400x

506

Grossissement sur un moniteur 15" 1000x

202

Distance de travail : mm

Grossissement sur un moniteur 15" 100x

22.5

Grossissement sur un moniteur 15" 200x

16.5

Grossissement sur un moniteur 15" 400x

3.1

Grossissement sur un moniteur 15" 1000x

0,54

Ouverture numérique (N.A)

Grossissement sur un moniteur 15" 100x

0.13

Grossissement sur un moniteur 15" 200x

0.3

Grossissement sur un moniteur 15" 400x

0,46

Grossissement sur un moniteur 15" 1000x

0.8

Zoom optique

De 1x à 8x

Grossissement total

De 100x à 8000x

Système optique d'observation/de mesure

Système optique confocal sténopéique

Mesure de hauteur

Plage de mesure

7 mm

Résolution Z

0,005 μm

Précision de répétition σ

0,02 μm *1

Mesure de largeur

Résolution de l’écran

0,01 μm

Précision de répétition 3σ

De 0,05 μm *2

Mémoire d'image

Nombre de pixels

2048 x 1 536, 1024 x 768, 1024 x 64

Pour une image monochrome

16 bits

Pour une image couleur

8 bits pour R, V et B respectivement

Pour la mesure de hauteur

21 bits

Nombre d'images par seconde

Balayage de surface

De 4 Hz à 120 Hz

Balayage linéaire

7900 Hz

Fonction automatique

AAG (Auto gain), auto focus, réglage automatique des limites inférieur/supérieure, réglage de luminosité en mode Double Scan

Source de lumière laser pour mesures

Longueur d’onde

Laser rouge à semi-conducteur, 658 nm

Puissance de sortie maximale

0.95 mW

Classe laser

Instrument laser de Classe 2 (CEI 60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10 *3)

Élément récepteur de lumière laser

PMT (tube de multiplicateur de photoélectrons)

Source lumineuse pour
observation optique

Lampe

Lampe halogène 100 W

Caméra couleur pour
observation optique

Élément de capture d'image

Capteur d'image à CCD couleur 1/3"

Résolution d'enregistrement

Ultra-haute résolution (3072 x 2304)

Ajustement automatique

Gain, vitesse d'obturation

Unité de traitement des données

PC dédié, fourni par KEYENCE avec la série VK-X (système d'exploitation : Windows 7 édition Professionnelle) *4

Valeursnominales

Tension d'alimentation

De 100 à 240 Vca ±10 %, 50/60 Hz

Consommationélectrique

450 VA max.

Poids

Environ 25 kg (Tête de mesure seule: Environ 8,5 kg)

*1 Lorsqu'une différence de hauteur standard de 2 μm est mesurée avec l'objectif 50x.
*2 Lorsque la largeur de la ligne du graphique de référence KEYENCE, égale à 1 μm, est mesurée avec l'objectif 50x (zoom optique 2x) en mode pic linéaire (moyennage : 8 fois).
*3 La classification laser pour la FDA (CDRH) des États-Unis est basée sur la norme CEI60825-1, conformément aux exigences du document Laser Notice No. 50 relatif aux lasers.
*4 Windows 7 est une marque déposée de Microsoft, États-Unis.

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