Microscope confocal à balayage laser 3D

Série VK-X

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Contrôleur VK-X150K

VK-X150K - Contrôleur

*Veuillez noter que les accessoires représentés dans l'image sont uniquement à des fins d'illustration et peuvent ne pas être inclus avec le produit.

Fiche technique (PDF)

Spécifications

Modèle		VK-X150K
Grossissement total		Jusqu'à 19200×^*1
Champ d’observation (plage minimale)		De 16 µm à 5400 µm
Cadence	vitesse de mesure du laser	De 4 à 120 Hz, 7,900 Hz^*2
Principe de mesure	Système optique	Système optique à diaphragme confocal
	Élément récepteur de lumière	Photomultiplicateur, numérisation 16 bits
	Méthode de balayage (pour les mesures standard et l’assemblage d’images)	Réglage automatique de la limite inférieure/supérieure, optimisation rapide de l'intensité lumineuse (AAGII), fonction complémentaire pour intensité lumineuse insuffisamment réfléchie (double scan)
Mesure de hauteur	Résolution Z	5 nm
	Échelle linéaire
	Plage dynamique (largeur prise en charge pour une lumière réfléchie de la pièce à usiner)	16 bits
	Précision de répétition σ	20× : 40 nm, 50× : 20 nm, 100× : 20 nm^*3
	Mémoire pour mesure d’axe Z	1,4 millions de niveaux
	Précision	0,2 + L/100 µm ou plus^4^5
Configuration de platine Z	Structure	Structure avec tête de mesure détachable
	Hauteur maximale de la cible	28 mm, 128 mm (en option)
Mesure de largeur	Résolution de l’écran	10 nm
	Précision de répétition 3σ	20× : 100 nm, 50× : 50 nm, 100× : 30 nm^*3
	Précision	± 2 %^*3
Configuration de platine XY	Manuelle : Plage d’exploitation	70 mm×70 mm
	Motorisée : Plage d’exploitation	50 mm × 50 mm, 100 mm × 100 mm^*6
Observation	Image observée	Image couleur CCD haute résolution Image couleur laser 16 bits confocale Système optique confocal avec filtre ND IMAGE CID C-laser
	Résolution maximale de l’enregistrement	3072×2304
Source de lumière laser pour mesures	Longueur d’onde	Laser rouge à semi-conducteur, 658 nm
	Puissance de sortie maximale	0,95 mW
	Classe laser	Appareil à Laser de Classe 2 (DIN EN60825-1)
Poids	Microscope	Environ 25 kg (sans tête de mesure, environ 8,5 kg)
	Commande	Environ 11 kg
^1 Avec moniteur 23 pouces. ^2 Avec vitesse ma x imale et utilisation d'une combinaison mode mesure/qualité de la mesure/grossissement de l'objectif. Pour un balayage de lignes de l'ordre avec une variation de mesure de 0,1 µm. ^3 Pour mesure de l'échelle de référence avec objectif 20× (ou supérieur) avec une température ambiante de 20 ± 2 °C. À l'exception du VK-X120/X130 avec objectif 100×. ^4 Pour mesure de l'échelle de référence avec objectif 20x (ou supérieur) avec une température ambiante de 20 ±2 °C. À l'e x ception du VK-X120/X130 avec objectif 100x. ^5 L = longuer de mesure verticale en µm ^6 Avec platine motorisée.

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