Microscope à balayage laser 3DSérie VK-X

VK-X160K

Système de mesure

VK-X105 - Microscope laser de mesure de formes

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SPÉCIFICATIONS

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Modèle

VK-X160K

Grossissement total

Jusqu'à 19200×*1

Champ d’observation (plage minimale)

De 16 µm à 5400 µm

Cadence

vitesse de mesure du laser

de 4 à 120 Hz, 7900 Hz*2

Principe de mesure

Système optique

Système optique à diaphragme confocal

Élément récepteur de lumière

Photomultiplicateur, numérisation 16 bits

Méthode de balayage (pour les mesures standard et l’assemblage d’images)

Réglage automatique de la limite inférieure/supérieure, optimisation rapide de l'intensité lumineuse (AAGII),
fonction complémentaire pour intensité lumineuse insuffisamment réfléchie (double scan)

Mesure de hauteur

Résolution Z

5 nm

Échelle linéaire

Plage dynamique (largeur prise en charge pour une lumière réfléchie de la pièce à usiner)

16 bits

Précision de répétition σ

20× : 40 nm, 50× : 20 nm, 100× : 20 nm*3

Mémoire pour mesure d’axe Z

1,4 millions de niveaux

Précision

0,2 + L/100 μm ou plus*3*4

Configuration de platine Z

Structure

Structure avec tête de mesure détachable

Hauteur maximale de la cible

28 mm, 128 mm (en option)

Mesure de largeur

Résolution de l’écran

10 nm

Précision de répétition 3σ

20× : 100 nm, 50× : 50 nm, 100× : 30 nm*3

Précision

± 2 %*3

Configuration de platine XY

Manuelle : Plage d’exploitation

70 mm×70 mm

Motorisée : Plage d’exploitation

50 mm × 50 mm, 100 mm × 100 mm*5

Observation

Image observée

Image couleur CCD haute résolution
Image couleur laser 16 bits confocale
Système optique confocal avec filtre ND
IMAGE CID C-laser

Résolution maximale de l’enregistrement

3072×2304

Source de lumière laser pour mesures

Longueur d’onde

Laser rouge à semi-conducteur, 658 nm

Puissance de sortie maximale

0,95 mW

Classe laser

Appareil à Laser de Classe 2 (DIN EN60825-1)

Poids

Microscope

Environ 25 kg (sans tête de mesure, environ 8,5 kg)

Commande

Environ 11 kg

*1 Avec moniteur 23 pouces.
*2 Avec vitesse maximale et utilisation d'une combinaison mode mesure/qualité de la mesure/grossissement de l'objectif. Pour un balayage de lignes de l'ordre avec une variation de mesure de 0,1 μm.
*3 Pour mesure de l'échelle de référence avec objectif 20× (ou supérieur) avec une température ambiante de 20 ± 2 °C. À l'exception du VK-X120/X130 avec objectif 100×.
*4 L = longuer de mesure verticale en μm
*5 Avec platine motorisée.

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