Microscope à balayage laser 3DSérie VK-X

VK-X210

Microscope laser de mesure de formes

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VK-X210 - Microscope laser de mesure de formes

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Modèle

VK-X210

Type

Appareil de mesure

Grossissement de l'objectif

Grossissement sur un moniteur 15" 200x

10×

Grossissement sur un moniteur 15" 400x

20×

Grossissement sur un moniteur 15" 1000x

50×

Grossissement sur un moniteur 15" 3000x

150×

Plage d'observation/
de mesure

Sens horizontal (H): μm

Grossissement sur un moniteur 15" 200x

1350

Grossissement sur un moniteur 15" 400x

675

Grossissement sur un moniteur 15" 1000x

270

Grossissement sur un moniteur 15" 3000x

90

Sens vertical (V) : μm

Grossissement sur un moniteur 15" 200x

1012

Grossissement sur un moniteur 15" 400x

506

Grossissement sur un moniteur 15" 1000x

202

Grossissement sur un moniteur 15" 3000x

67

Distance de travail : mm

Grossissement sur un moniteur 15" 200x

16.5

Grossissement sur un moniteur 15" 400x

3.1

Grossissement sur un moniteur 15" 1000x

0.35

Grossissement sur un moniteur 15" 3000x

0.2

Ouverture numérique (N.A)

Grossissement sur un moniteur 15" 200x

0.3

Grossissement sur un moniteur 15" 400x

0,46

Grossissement sur un moniteur 15" 1000x

0.95

Grossissement sur un moniteur 15" 3000x

Zoom optique

De 1x à 8x

Grossissement total

De 200x à 24 000x

Système optique d'observation/de mesure

Système optique confocal sténopéique

Mesure de hauteur

Plage de mesure

7 mm

Résolution Z

0,0005 μm

Précision de répétition σ

0,012 μm *1

Mesure de largeur

Résolution de l’écran

0,001 μm

Précision de répétition 3σ

0,02 μm *2

Mémoire d'image

Nombre de pixels

2048 x 1 536, 1024 x 768, 1024 x 64

Pour une image monochrome

16 bits

Pour une image couleur

8 bits pour R, V et B respectivement

Pour la mesure de hauteur

24 bits

Nombre d'images par seconde

Balayage de surface

De 4 Hz à 120 Hz

Balayage linéaire

7900 Hz

Fonction automatique

AAG (Auto gain), auto focus, réglage automatique des limites inférieur/supérieure, réglage de luminosité en mode Double Scan

Source de lumière laser pour mesures

Longueur d’onde

Laser violet, 408 nm

Puissance de sortie maximale

0.95 mW

Classe laser

Instrument laser de Classe 2 (CEI 60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10 *3)

Élément récepteur de lumière laser

PMT (tube de multiplicateur de photoélectrons)

Source lumineuse pour
observation optique

Lampe

Lampe halogène 100 W

Caméra couleur pour
observation optique

Élément de capture d'image

Capteur d'image à CCD couleur 1/3"

Résolution d'enregistrement

Ultra-haute résolution (3072 x 2304)

Ajustement automatique

Gain, vitesse d'obturation

Unité de traitement des données

PC dédié, fourni par KEYENCE avec la série VK-X (système d'exploitation : Windows 7 édition Professionnelle) *4

Valeursnominales

Tension d’alimentation

De 100 à 240 VCA, 50/60 Hz

Consommation de courant

450 VA maximum

Poids

Environ 26 kg
(Tête de mesure seule : environ 10 kg)

*1 Lorsqu'une différence de hauteur standard de 2 μm est mesurée avec l'objectif 50x.
*2 Lorsque la largeur de la ligne du graphique de référence KEYENCE, égale à 1 μm, est mesurée avec l'objectif 150x en mode pic linéaire (moyennage : 8 fois).
*3 La classification laser pour la FDA (CDRH) des États-Unis est basée sur la norme CEI60825-1, conformément aux exigences du document Laser Notice No. 50 relatif aux lasers.
*4 Windows 7 est une marque déposée de Microsoft, États-Unis.

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