Microscope à balayage laser 3DSérie VK-X

VK-X260K

Système de mesure

FS-15G - Amplificateur

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SPÉCIFICATIONS

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Modèle

VK-X260K

Grossissement total

Jusqu'à 28000×*1

Champ d’observation (plage minimale)

De 11 µm à 5400 µm

Cadence

vitesse de mesure du laser

de 4 à 120 Hz, 7900 Hz*2

Principe de mesure

Système optique

Système optique à diaphragme confocal

Élément récepteur de lumière

Photomultiplicateur, numérisation 16 bits

Méthode de balayage (pour les mesures standard et l’assemblage d’images)

Réglage automatique de la limite inférieure/supérieure, optimisation rapide de l'intensité lumineuse (AAGII),
fonction complémentaire pour intensité lumineuse insuffisamment réfléchie (double scan)

Mesure de hauteur

Résolution Z

0,5 nm

Échelle linéaire

Plage dynamique (largeur prise en charge pour une lumière réfléchie de la pièce à usiner)

16 bits

Précision de répétition σ

20× : 40 nm, 50× : 12 nm, 150× : 12 nm*3

Mémoire pour mesure d’axe Z

14 millions de niveaux

Précision

0,2 + L/100 μm ou plus*3*4

Configuration de platine Z

Structure

Structure avec tête de mesure détachable

Hauteur maximale de la cible

28 mm, 128 mm (en option)

Mesure de largeur

Résolution de l’écran

1 nm

Précision de répétition 3σ

20× : 100 nm, 50× : 40 nm, 150× : 20 nm*3

Précision

± 2 %*3

Configuration de platine XY

Manuelle : Plage d’exploitation

70 mm×70 mm

Motorisée : Plage d’exploitation

50 mm × 50 mm, 100 mm × 100 mm*5

Observation

Image observée

Image couleur CCD haute résolution
Image couleur laser 16 bits confocale
Système optique confocal avec filtre ND
IMAGE CID C-laser

Résolution maximale de l’enregistrement

3072×2304

Source de lumière laser pour mesures

Longueur d’onde

Laser violet, 408 nm

Puissance de sortie maximale

0,95 mW

Classe laser

Appareil à Laser de Classe 2 (DIN EN60825-1)

Poids

Microscope

Environ 26 kg (sans tête de mesure, environ 10 kg)

Commande

Environ 11 kg

*1 Avec moniteur 23 pouces.
*2 Avec vitesse maximale et utilisation d'une combinaison mode mesure/qualité de la mesure/grossissement de l'objectif. Pour un balayage de lignes de l'ordre avec une variation de mesure de 0,1 μm.
*3 Pour mesure de l'échelle de référence avec objectif 20× (ou supérieur) avec une température ambiante de 20 ± 2 °C. À l'exception du VK-X120/X130 avec objectif 100×.
*4 L = longuer de mesure verticale en μm
*5 Avec platine motorisée.

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