IM-6120
[Modèle champ large]
IM-6025/6015
[Modèle polyvalent]
IM-6140
[Modèle haute précision]
Champ de vision φ100×200mm
☐25×125mm
φ100mm
φ25mm
φ6mm
Exactitude de répétition Sans déplacement de la platine:
±1 μm
Avec déplacement de la platine:
±2 μm
Sans déplacement de la platine:
±0.5 μm
Avec déplacement de la platine:
±1.5 μm
±1μm
±0.5μm
±0.1μm
Système d’éclairage
Ajustement automatique de la
hauteur