Capteurs ultrasoniques numériques forte puissance

Série FW

Semi-conducteurs/Électronique/Industrie électrique

Des performances inégalées des capteurs ultrasoniques pour toutes les applications.

Détection de plaquettes pendant le nettoyage

Détection de plaquettes pendant le nettoyage

Les plaquettes humides sont détectées immédiatement après le découpage, même en présence de vapeurs.

Détection de substrats fendus pendant le transfert

Détection de substrats fendus pendant le transfert

En raison des couleurs et des fentes du substrat, les capteurs photoélectriques classiques produisent des résultats instables et des cognements. La série FW assure une détection fiable, non affectée par les couleurs et les petites entailles.

Contrôle de la tension d'une toile

Contrôle de la tension d'une toile

La détection par des capteurs photoélectriques est difficile en raison de la transparence et des irrégularités de surface. La série FW assure une détection fiable, non affectée par les parties saillantes ou en creux. De plus, il est possible d'utiliser deux sorties pour obtenir séparément la limite inférieure et la limite supérieure.

Détection oblique de plaquettes

Détection oblique de plaquettes

La détection est difficile en raison de la très faible différence de hauteur entre la mince plaquette et l'arrière-plan. La série FW assure une détection fiable en appliquant les ondes ultrasonores suivant un angle afin de provoquer des légères réflexions au niveau du bord.

Détection de plaquettes dans une cassette

Détection de plaquettes dans une cassette

La série FW est utilisée pour détecter les plaquettes restantes. La détection est difficile avec les capteurs de type réflectif car la lumière est absorbée par le film de surface des plaquettes. La série FW n'est pas gênée par les films de surface ou les arrière-plans brillants.

Contrôle du niveau d'une solution de nettoyage

Contrôle du niveau d'une solution de nettoyage

La série FW est utilisée pour contrôler le niveau de liquide. Les deux sorties peuvent être utilisées pour obtenir séparément la limite inférieure et la limite supérieure. Le mode spécifique de détection des niveaux de liquide permet en outre d'effectuer divers contrôles via un paramétrage simple.

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