Controller VK-X3000

VK-X3000 - Controller

*Houd er rekening mee dat de accessoires die op de afbeelding staan alleen ter illustratie dienen en mogelijks niet bij het product worden geleverd.

Datablad (PDF)

Catalogus downloaden

Datablad (PDF)

Specificaties

Model		VK-X3000
Type		Controller
Totale vergroting		42× tot 28800×^*1
Zichtveld		11 tot 7398 μm
Meetprincipe		Laser confocaal, focusvariatie, witlichtinterferometrie, spectrale interferentie
Lasergolflengte		VK-X3100: Halfgeleiderlaser, 404 nm VK-X3050: Halfgeleiderlaser, 661 nm
Max. meetsnelheid van de laser		Oppervlak: 125 Hz, lijn: 7900 Hz^*2
Max. uitgangsvermogen van de laser		0,9 mW
Laserklasse		Klasse 2 (IEC60825-1)
Laserlicht ontvangend element		16 bitfotomultiplicator
Witte lichtbron		Witte LED
Wit licht ontvangend element		HD CMOS-kleurenbeeld
Laser confocaal	Displayresolutie hoogte	VK-X3100: 0,1 nm VK-X3050: 1 nm
	Herhaalbaarheid hoogte σ	VK-X3100: 10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 12 nm VK-X3050: 10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 20 nm
	Nauwkeurigheid hoogte	0,2+L/100 μm of minder^*3
	Displayresolutie breedte	VK-X3100: 0,1 nm VK-X3050: 1 nm
	Herhaalbaarheid breedte 3σ	VK-X3100: 10×: 200 nm, 20×: 100 nm, 50×: 40 nm VK-X3050: 10×: 400 nm, 20×: 100 nm, 50×: 50 nm
	Nauwkeurigheid breedte	Gemeten waarde ±2% of minder^*3
Focusvariatie	Displayresolutie hoogte	VK-X3100: 0,1 nm VK-X3050: 1 nm
	Herhaalbaarheid hoogte σ	VK-X3100: 5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 20 nm VK-X3050: 5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 30 nm
	Nauwkeurigheid hoogte	0,2+L/100 μm of minder^*3
	Displayresolutie breedte	VK-X3100: 0,1 nm VK-X3050: 1 nm
	Herhaalbaarheid breedte 3σ	VK-X3100: 5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 50 nm VK-X3050: 5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 65 nm
	Nauwkeurigheid breedte	Gemeten waarde ±2% of minder^*3
Witlichtinterferometrie	Displayresolutie hoogte	0,01 nm
	Displayresolutie breedte	0,1 nm
	Herhaalbaarheid oppervlaktopografie	0,08 nm^*4
	Herhaalbaarheid RMS	0,008 nm^*4
Diktemeting van folie met spectrale interferentie	Herhaalbaarheid σ	0,1 nm^*4
	Nauwkeurigheid	±0,6%^*4
Optische waarneming	Aantal pixels	5,6 miljoen
	Revolver	Elektrische revolver met 6 gaten
	Lens voor ringverlichting	2,5×, 5×, 10×
	Optische zoom	1 tot 8×
XY-steunconfiguratie	Bereik voor handmatige bediening	70 mm × 70 mm
	Bereik voor gemotoriseerde bediening	100 mm × 100 mm
Voeding	Spanning	100 tot 240 VAC, 50/60 Hz
	Stroomverbruik	150 VA
Omgevingsbestendigheid	Omgevingstemperatuur	+15 tot 28°C
	Omgevingsvochtigheid	20 tot 80% RH (geen condensatie)
Gewicht		Ongeveer 3 kg
^1 Bij gebruik van een volledig beeldscherm van 23 inch. ^2 Op topsnelheid bij een combinatie van meetmodus/meetkwaliteit/lensvergroting. Wanneer het meetbereik van de lijnscan binnen 0,1 μm is. ^3 Wanneer een standaardmonster wordt gemeten met een 20×-lens of groter. ^4 Typische waarden bij een standaard meetomgeving.

Datablad (PDF) Andere modellen