Konfokalny mikroskop do skanowania laserowego 3D

Seria VK-X

Ten model został wycofany z oferty.
Zgodność ze standardem certyfikacji zapewniona jest od momentu wysyłki z naszej firmy.

Polecane zamienniki: Głowica pomiarowa - VK-X3050

Głowica pomiarowa: Czerwony laser półprzewodnikowy VK-X1050

VK-X1050 - Głowica pomiarowa: Czerwony laser półprzewodnikowy

*Należy pamiętać, że akcesoria przedstawione na zdjęciu służą wyłącznie do celów ilustracyjnych i mogą nie być dołączone do produktu.

Arkusz danych (PDF)

  • CE Marking
  • CSA

Dane techniczne

Model

VK-X1050

Typ

głowica pomiarowa

Powiększenie całkowite

Do 28 800 x*1

Pole widzenia (minimalny zakres)

Od 11 do 7398 µm

Liczba klatek na sekundę (prędkość pomiaru laserowego)

4–125 Hz, 7900 Hz*2

Zasada pomiaru

Układ optyczny

Konfokalny system optyczny z otworem, Ostrość

Element odbierający światło

16-bitowe wykrywanie: fotopowielacz, CMOS z kolorem w wysokiej rozdzielczości

Metoda skanowania (podczas pomiaru ogólnego I zszywania obrazów)

Automatyczne ustawianie górnej/dolnej granicy, szybkie ustawianie intensywności światła laserowego (AAGII), automatyczne wykrywanie i skanowanie w przypadku słabego odbicia (podwójne skanowanie)

Pomiar wysokości

Rozdzielczość wyświetlacza

5 nm

Skala liniowa

Zakres dynamiczny

16 bitów

Powtarzalność σ

Konfokalny pomiar laserowy

20 x, 40 nm; 50 x, 20 nm

Zmiana ostrości

5 x, 500 nm; 10 x, 100 nm; 20 x, 50 nm; 50 x, 30 nm

Zakres pobierania danych wysokości

0,7 mln kroków

Dokładność

0,2 + L/100 µm lub lepiej*3

Pomiar szerokości

Rozdzielczość wyświetlacza

10 nm

Powtarzalność 3σ

Konfokalny pomiar laserowy

20 x, 100 nm; 50 x, 50 nm

Zmiana ostrości

5 x, 400 nm; 10 x, 400 nm; 20 x, 120 nm; 50 x, 65 nm

Dokładność

±2%*3

Konfiguracja stolika XY

Ręczny: Zakres ruchu

70 mm × 70 mm

Napędzany: Zakres ruchu

100 mm × 100 mm

Obserwacja

Opcje obrazu

16-bitowy, laserowy, konfokalny, kolorowy obraz CMOS o wysokiej rozdzielczości, konfokalny, konfokalny system optyczny z filtrem ND, obraz C-laser DIC (kontrast Nomarskiego)

Oświetlenie

Oświetlenie pierścieniowe, oświetlenie współosiowe

Źródło światła laserowego do pomiarów

Długość fali

Czerwony laser półprzewodnikowy, 661 nm

Maksymalna moc wyjściowa

1 mW

Klasa lasera

Produkt laserowy klasy 2 (IEC60825-1)

Zasilanie

Napięcie zasilania

100–240 V AC, 50/60 Hz

Pobór prądu

150 VA

Masa

Ok. 13,0 kg

*1 23-calowy wyświetlacz pełnoekranowy.
*2 Przy maksymalnej prędkości przy zastosowaniu kombinacji trybu pomiaru/jakości pomiaru/powiększenia obiektywu. Gdy skanowanie linii mieści się w zakresie skoku pomiarowego 0,1 µm.
*3 Podczas pomiaru próbki standardowej (skala standardowa) z obiektywem 20 x (lub wyższym).

Arkusz danych (PDF) Inne modele