Konfokální mikroskopy s laserovým skenováním

Mikroskopy s laserovým skenováním

Mikroskopy s laserovým skenováním obsahují dva zdroje světla: bílé světlo pro shromažďování informací o barvách a laserový zdroj pro shromažďování informací o výšce. Pro zachycení údajů o výšce provádí laser skenování ve směrech XYZ po povrchu vzorku a měří se intenzita odraženého světla. Výsledkem je barevný obraz s vysokým rozlišením a velkou hloubkou ostrosti a rozlišením výšky na úrovni nanometrů umožňujícím přesné měření profilu a drsnosti.

Funkční schéma principu měření. 1. Laser provede skenování ve směru X a Y. 2. Čočka objektivu se posune ve směru Z a laser opět provede skenování ve směru X a Y. 3. Tento postup skenování se opakuje, dokud není dosaženo konce hloubky měření. 4. Měření je poté dokončeno.

REJSTŘÍK