Konfokales 3D Laserscanning-MikroskopModellreihe VK-X

VK-X210

Lasermikroskop für Formmessungen

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Modell

VK-X210

Typ

Mikroskop

Vergrößerung des Objektivs

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

10×

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

20×

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

50×

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 3000x

150×

Betrachtungs-/
Messbereich

Horizontal (H): μm

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

1350

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

675

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

270

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 3000x

90

Vertikal (V): μm

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

1012

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

506

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

202

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 3000x

67

Arbeitsabstand: mm

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

16,5

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

3,1

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

0,35

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 3000x

0,2

Numerische Apertur (NA)

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 200x

0,3

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 400x

0,46

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 1000x

0,95

Vergrößerung auf einem 15"-Monitor 3000x

Optischer Zoom

1- bis 8x

Gesamtvergrößerung

200- bis 24000fach

Optik für Betrachtung/Messung

Konfokale Optik mit Lochblende

Höhenmessungen

Messbereich

7 mm

Höhenmessung

Z-Auflösung

0,0005 µm

Wiederholgenauigkeit σ

0,012 µm*1

Breitenmessung

Display-Auflösung

0,001 µm

Wiederholgenauigkeit 3σ

0,02 µm*2

Frame-Speicher

Pixelanzahl

2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64

Für Monochrombild

16 Bit

Für Farbbild

Je 8 Bit für RGB

Für Höhenmessungen

24 Bit

Bildfrequenz

Oberflächenabtastung

4 bis 120 Hz

Zeilenabtastung

7900 Hz

Automatik

AAG (automatische Verstärkung), Autofokus, automatische Einstellung des oberen/unteren Grenzwerts, Helligkeitseinstellungen für die Doppelabtastung

Laserlichtquelle für Messungen

Wellenlänge

Violetter Laser, 408 nm

Maximale Ausgangsleistung

0.95 mW

Laserklasse

Lasereinrichtung der Klasse 2 (IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10 *3)

Lichtempfangselement

PMT (Photoelectron Multiplier Tube)

Lichtquelle für optische
Betrachtungen

Lampe

100 W Halogenlampe

Farbbildkamera für
optische
Betrachtungen

Bildverarbeitungskomponente

1/3"-CCD-Farbbildempfänger

Aufnahmeauflösung

Extrem hohe Auflösung (3072 x 2304)

Automatische Einstellung

Verstärkung, Verschlusszeit

Datenverarbeitungseinheit

Spezieller Computer von KEYENCE mit dem VK-X mitgeliefert (Betriebssystem: Windows 7 Professional Edition) *4

Nennwerte

Versorgungsspannung

100 bis 240 VAC ±10 %, 50/60 Hz

Leistungsaufnahme

Max. 450 VA

Gewicht

Circa 26 kg (ohne Messkopf Circa 10 kg)

*1 Bei Messung eines Standard-Höhenunterschieds von 2 µm mit dem 50fachen-Objektiv
*2 Bei Messung der Linienbreite von 1 µm auf der KEYENCE-Testkarte mit dem 150fachen-Objektiv im Linien-Peak-Modus (Bildmittelung: 8 Mal)
*3 Die auf IEC60825-1 basierende Einstufung erfolgt gemäß den einschlägigen US-Bestimmungen: “FDA (CDRH) Laser Notice No. 50”.
*4 Windows 7 ist eine eingetragenes Warenzeichen des Unternehmens Microsoft, USA.

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