3D-ProfilometerModellreihe VR-3000

VR-3200

Messkopf für 3D-Profilometer

TECHNISCHE DATEN

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Modell

VR-3200

Typ

Messkopf

Geeignetes Steuergerät

VR-3000K

Betrachtungs- und
Messbereich

Breitbild-Modus

Vergrößerung (bezogen auf einen 15 Zoll Monitor) 12x

Horizontal

24 mm

Vertikal

18 mm

Vergrößerung (bezogen auf einen 15 Zoll Monitor) 25x

Horizontal

12 mm

Vertikal

9 mm

Vergrößerung (bezogen auf einen 15 Zoll Monitor) 38x

Horizontal

8 mm

Vertikal

6 mm

Vergrößerung (bezogen auf einen 15 Zoll Monitor) 50x

Horizontal

Vertikal

4,5 mm

High Magnifi cation Modus

Vergrößerung (bezogen auf einen 15 Zoll Monitor) 40x

Horizontal

7,6 mm

Vertikal

5,7 mm

Vergrößerung (bezogen auf einen 15 Zoll Monitor) 80x

Horizontal

3,8 mm

Vertikal

2,9 mm

Vergrößerung (bezogen auf einen 15 Zoll Monitor) 120x

Horizontal

2,5 mm

Vertikal

1,9 mm

Vergrößerung (bezogen auf einen 15 Zoll Monitor) 160x

Horizontal

Vertikal

1,4 mm

Zoom

1 bis 4x

Messbare Höhe

Breitbild-Modus:10mm(±5mm) High Magnifi cation Modus:1mm(±0,5mm)*1

Referenzskala

0,1 µm*2

Wiederholgenauigkeit (σ)

Höhenmessung

0,5 µm*3

Breitenmessung

Makro-Modus: 1 µm, Mikro-Modus: 0,5 µm*3

Messgenauigkeit

Höhenmessung

±3 µm*3

Breitenmessung

Makro-Modus: ±5 µm, Mikro-Modus: ±2 µm*3

Bildzusammensetzung

Vollautomatische Messung (autom. Steuerung des XY-Objekttisches + Autofokus)*4
Automatische Einstellung, automatische Vorlagenanalyse*4

Objekttisch

XY-Hubweg

184 mm × 88 mm (elektrisch)

Z-Hubweg

90 mm (elektrisch)

Drehung

±180°(Messobjekt-Drehtisch)

Neigungswinkel

Über ±30°

Arbeitsabstand

75 mm

Bildaufnahmeelement

4-Megapixel-CMOS, S/W

Sendeobjektiv

Doppelt telezentrisches Objektiv x2

Empfängerobjektiv

Doppelt telezentrisches Objektiv

Lichtquellen

Lichtquelle für Betrachtung

LED-Ringleuchte (rot, grün und blau)

Lichtquelle für Messung

Weiße LED

Bildgröße

1024 x 768 Pixel, 2048 x 1536 Pixel

Datenverarbeitung

Steuerungs-Computer (Betriebssystem: Windows 7)*5

Nennwerte

Versorgungsspannung

100 bis 240 VAC ±10 %, 50/60 Hz

Leistungsaufnahme

150 VA

Umgebungsbeständigkeit

Umgebungstemperatur

+15 bis +30 °C

Relative Luftfeuchtigkeit

35 bis 80 % RH (Keine Kondensation)

Gewicht

28,0 kg

*1 Niedrige Vergrößerung ±5 mm und hohe Vergrößerung ±0,5 mm um die fokussierte Brennpunktposition.
*2 Messaufl ösung in der Z-Achse (Höhe)
*3 Bei Messung mit KEYENCE-Kalibrierstandard in speziellem Messmodus (Umgebungstemperatur: 23±1°C)
*4 Bildzusammensetzungsmodul (VR-H2J) erforderlich
*5 Windows 7 Professional und Ultimate.

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