3D-Profilometer Steuergerät VR-6000

Modell

VR-6000

Typ

Steuergerät

Messkopf

VR-6200, VR-6100

Sichtfeld

Makro-Modus

Vergrößerung (bezogen auf einen 15-Zoll-Monitor) 12×

Horizontal

24,0 mm

Vertikal

18,0 mm

Vergrößerung (bezogen auf einen 15-Zoll-Monitor) 25×

Horizontal

12,0 mm

Vertikal

9,0 mm

Vergrößerung (bezogen auf einen 15-Zoll-Monitor) 38×

Horizontal

8,0 mm

Vertikal

6,0 mm

Vergrößerung (bezogen auf einen 15-Zoll-Monitor) 50×

Horizontal

Vertikal

4,5 mm

Mikro-Modus

Vergrößerung (bezogen auf einen 15-Zoll-Monitor) 40×

Horizontal

7,6 mm

Vertikal

5,7 mm

Vergrößerung (bezogen auf einen 15-Zoll-Monitor) 80×

Horizontal

3,8 mm

Vertikal

2,9 mm

Vergrößerung (bezogen auf einen 15-Zoll-Monitor) 120×

Horizontal

2,5 mm

Vertikal

1,9 mm

Vergrößerung (bezogen auf einen 15-Zoll-Monitor) 160×

Horizontal

Vertikal

1,4 mm

Zoom

1× bis 4×

Höhenmessung

Anzeigeauflösung

0,1 μm

Höhenmessbereich

Ohne Bildzusammensetzung in Z

Makro-Modus: 10 mm
Mikro-Modus: 1 mm

Mit Bildzusammensetzung in Z

Makro-Modus: 50 mm
Mikro-Modus: 30 mm

Wiederholgenauigkeit (σ)

Ohne Bildzusammensetzung in Z

0,4 μm ^*1

Mit Bildzusammensetzung in Z

1,0 μm ^*1

Messgenauigkeit

Ohne Bildzusammensetzung in Z

±2,5 μm ^*1

Mit Bildzusammensetzung in Z

±4,0 μm ^*1

Breitenmessung

Wiederholgenauigkeit (σ)

Makro-Modus: 1 μm
Mikro-Modus: 0,5 μm
^*1

Messgenauigkeit

Makro-Modus: ±5 μm
Mikro-Modus: ±2 μm
^*1

Bildzusammensetzung

VR-6200: Vollautomatische Messung (automatische XY-Steuerung + automatischer Z-Fokus, automatische θ-Steuerung), Automatische Zuordnung, automatische Bereichseinrichtung ^*2
VR-6100: Manuelle Messung (manuelle XY-Steuerung + automatischer Z-Fokus) ^*2

Bildzusammensetzung

Motorisierte Rotationseinheit

VR-6200: Unterstützt ^*2
VR-6100: Nicht unterstützt

Messbarer XY-Bereich

VR-6200: 300 mm × 150 mm ^*2
VR-6100: 92 mm × 86 mm ^*2

Objekttisch

XY-Hubweg

VR-6200: 278 mm × 134 mm (motorisiert)
VR-6100: 70 mm × 70 mm (manuell)

Z-Hubweg

69 mm (motorisiert)

Belastbarkeit

4,5 kg

Arbeitsabstand

75 mm

Bildaufnahmegerät

4-Megapixel-CMOS, S/W

Sendeobjektiv

Doppelt telezentrisches Objektiv × 2

Empfängerobjektiv

Doppelt telezentrisches Objektiv

Lichtquellen

Lichtquelle für Betrachtung

LED-Ringleuchte (rot, blau, grün)

Lichtquelle für Messung

Weiße LED

Datenverarbeitung

Spezieller PC nach KEYENCE-Vorgaben (Betriebssystem: Windows 10 Pro)

Netzanschluss

Spannung

100 bis 240 V AC, ±10%, 50/60 Hz

Leistungsaufnahme

Max. 200 VA

Umgebungsbeständigkeit

Umgebungstemperatur

+15 bis 30°C

Relative Luftfeuchtigkeit

20 bis 80% r. F. (keine Kondensation)

Gewicht

Ca. 4 kg