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          Oberflächenabtastender konfokaler Laser-Wegmesssensor

          Modellreihe LT-9000

          • Abtastung der Z-Achse

          Abtastung der Z-Achse

          Zehn Mal höher als bei herkömmlichen Modellen

          Abtastung der Z-Achse

          Hohe Auflösung von 0,3 µm

          Präzisionsmesssensor arbeitet nach dem Konfokalprinzip mittels Stimmgabel

          Der Laserstrahl wird durch ein Linsensystem, das mit Hilfe einer schnell schwingenden Stimmgabel vertikal vibriert, auf die Messobjektoberfläche fokussiert. Der von der Oberfläche des Messobjekts reflektierte Strahl wird durch eine Lochblende konvergiert und trifft dann auf den Photosensor(Lichtempfangendes Element) auf. Durch Messung der exakten Position des Objektivs beim Auftreffen des Lichts am Photosensor lässt sich die Höhe des Messobjekts exakt bestimmen. Der Sensor misst präzise die Distanz zur Messobjektoberfläche, wobei die Messgenauigkeit weder vom Material noch von der

          High angular characteristics

          optische Koaxialsystem

          Das optische Koaxialsystem verbessert die Messleistung und ermöglicht eine hohe Winkelcharakteristik

          Wenn kein Fokus auf der Messobjektoberfläche erzielt wird

          Eine kleine Menge des auftreffenden Lichts tritt durch die Lochblende hindurch.

          Eine kleine Menge des auftreffenden Lichts tritt durch die Lochblende hindurch.

          Wenn ein Fokus auf der Messobjektoberfläche erzielt wird

          Das gesamte auftreffende Licht tritt durch die Lochblende hindurch.

          Das gesamte auftreffende Licht tritt durch die Lochblende hindurch.

          • Abtastung der Z-Achse

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              Optische Messtechnik / Messtaster