Messkopf VK-X3050

VK-X3050 - Messkopf

  • CE-Prüfzeichen
  • CSA

Technische Daten

Modell

VK-X3050

Typ

Messkopf

Gesamtvergrößerung

42× bis 28800×*1

Sichtfeld

11 bis 7398 μm

Messprinzip

Konfokale Lochblendenoptik, Fokusvariation, Weißlichtinterferometrie, Spektrale Interferenz

Wellenlänge des Lasers

Halbleiterlaser, 661 nm

Max. Geschwindigkeit der Lasermessung

Oberfläche: 125 Hz, Linie: 7900 Hz*2

Maximale Ausgangsleistung

0,9 mW

Laserklasse

Klasse 2 (DIN EN60825-1)

Laser-Lichtempfangselement

16-Bit-Photomultiplier

Weiße Lichtquelle zur Beleuchtung

Weiße LED

Weißlicht-Empfangselement

Hochauflösender CMOS-Chip

Konfokaler Laser

Anzeigeauflösung in Z

1 nm

Wiederholgenauigkeit (σ) in Z

10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 20 nm

Genauigkeit in Höhenrichtung

0,2+L/100 μm oder weniger*3

Anzeigeauflösung in XY

1 nm

Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY

10×: 400 nm, 20×: 100 nm, 50×: 50 nm

Genauigkeit in XY

Messwert ±2 % oder weniger*3

Fokusvariation

Anzeigeauflösung in Z

1 nm

Wiederholgenauigkeit (σ) in Z

5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 30 nm

Genauigkeit in Höhenrichtung

0,2+L/100 μm oder weniger*3

Anzeigeauflösung in XY

1 nm

Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY

5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 65 nm

Genauigkeit in XY

Messwert ±2 % oder weniger*3

Weißlichtinterferometrie

Anzeigeauflösung in Z

0,01 nm

Anzeigeauflösung in XY

0,1 nm

Wiederholgenauigkeit der Oberflächentopographie

0,08 nm*4

Wiederholgenauigkeit von RMS

0,008 nm*4

Spektroskopische Messung der Schichtdicke

Wiederholgenauigkeit σ

0,1 nm*4

Genauigkeit

±0,6 %*4

Optische Betrachtung

Anzahl der Pixel

5,6 Millionen

Revolver

6-Loch-Revolver (motorisiert)

Ringbeleuchtung

2,5×, 5×, 10×

Optischer Zoom

1 bis 8×

XY-Objekttisch- Konfiguration

Manueller Betriebsbereich

70 mm × 70 mm

Motorisierter Betriebsbereich

100 mm × 100 mm

Netzanschluss

Spannung

100 bis 240 V AC, 50/60 Hz

Leistungsaufnahme

150 VA

Umgebungsbeständigkeit

Umgebungstemperatur

+ 15 bis + 28 °C

Relative Luftfeuchtigkeit

20 bis 80 % r.F. (keine Kondensation)

Gewicht

Ca. 13 kg

*1 Bei Verwendung mit einer 23-Zoll-Vollbildanzeige.
*2 Bei maximaler Geschwindigkeit und Verwendung einer Kombination aus Messmodus/Messqualität/Objektivvergrößerung. Wenn die Linienerfassung innerhalb eines Pitchs von 0,1 μm liegt.
*3 Bei der Messung eines Standardmessobjekts (Referenzmaßstabs) mit einem 20×-Objektiv (oder höher).
*4 Typische Werte gemäß der Standardmessumgebung.

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