Microscope confocal à balayage laser 3DSérie VK-X

VK-X1000

Commande

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Modèle

VK-X1000

Type

Commande

Grossissement total

Jusqu’à 28,800 x*1

Champ d’observation (plage minimale)

De 11 à 7,398 µm

Cadence (vitesse de mesure du laser)

De 4 à 125 Hz, 7,900 Hz*2

Principe de mesure

Système optique

Système optique à diaphragme confocal, variation de la mise au point

Élément récepteur de lumière

Détection 16 bits: photomultiplicateur, CMOS couleur haute définition

Méthode de balayage (pour les mesures standard et l’assemblage d’images)

Réglage automatique de la limite inférieure/supérieure, optimisation rapide de l’intensité lumineuse (AAGII) , fonction complémentaire pour intensité lumineuse insuffisamment réfléchie (double scan)

Mesure de hauteur

Résolution d’affichage

0,5 nm (VK-X1100) , 5 nm (VK-X1050)

Échelle linéaire

Plage dynamique

16 bits

Précision de répétition σ

Confocal laser

20 x, 40 nm; 50 x, 12 nm (VK-X1100)
20 x, 40 nm; 50 x, 20 nm (VK-X1050)

Variation de la mise au point

5 x, 500 nm; 10 x, 100 nm; 20 x, 50 nm; 50 x, 20 nm (VK-X1100)
5 x, 500 nm; 10 x, 100 nm; 20 x, 50 nm; 50 x, 30 nm (VK-X1050)

Plage d’acquisition des données de hauteur

0,7 millions de niveaux

Précision

0,2 + L /100 µm ou plus*3

Mesure de largeur

Résolution d’affichage

1 nm (VK-X1100) , 10 nm (VK-X1050)

Précision de répétition 3σ

Confocal laser

20 x, 100 nm; 50 x, 40 nm (VK-X1100)
20 x, 100 nm; 50 x, 50 nm (VK-X1050)

Variation de la mise au point

5 x, 400 nm; 10 x, 400 nm; 20 x, 120 nm; 50 x, 50 nm (VK-X1100)
5 x, 400 nm; 10 x, 400 nm; 20 x, 120 nm; 50 x, 65 nm (VK-X1050)

Précision

±2 %*3

Configuration de platine XY

Manuelle : Plage d’exploitation

70 mm x 70 mm

Motorisée : Plage d’exploitation

100 mm x 100 mm

Observation

Image observée

Image couleur CMOS haute définition Image couleur laser 16 bits confocale Système optique confocal avec filtre ND Image sous contraste interférentiel différentiel C-laser

Éclairage

Éclairage annulaire, éclairage coaxial

Source de lumière laser pour mesures

Longueur d’onde

Laser violet à semi-conducteur, 404 nm (VK-X1100)
Laser rouge à semi-conducteur, 661 nm (VK-X1050)

Puissance de sortie maximale

1 mW

Classe laser

Appareil à Laser de Classe 2 (IEC60825-1)

Alimentation électrique

Tension d’alimentation

100 à 240 Vc.a., 50/60 Hz

Consommation électrique

150 VA

Poids

Environ 3,0 kg

*1 Plein écran de 23 pouces.
*2 Avec vitesse maximale et utilisation d’une combinaison mode mesure/qualité de la mesure/grossissement de l’objectif. Pour un balayage de lignes de l’ordre avec une variation de mesure de 0,1 µm.
*3 En cas de mesure d’un échantillon standard (échelle de référence) avec un objectif 20 x (ou supérieur).

Téléchargements:

Bibliothèque des systèmes de mesure

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