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          Microscope confocal à balayage laser 3DSérie VK-X

          VK-X1050

          Tête de mesure: Laser rouge à semi-conducteur

          SPÉCIFICATIONS

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          Modèle

          VK-X1050

          Type

          tête de mesure

          Grossissement total

          Jusqu’à 28,800 x*1

          Champ d’observation (plage minimale)

          De 11 à 7,398 µm

          Cadence (vitesse de mesure du laser)

          De 4 à 125 Hz, 7,900 Hz*2

          Principe de mesure

          Système optique

          Système optique à diaphragme confocal, variation de la mise au point

          Élément récepteur de lumière

          Détection 16 bits: photomultiplicateur, CMOS couleur haute définition

          Méthode de balayage (pour les mesures standard et l’assemblage d’images)

          Réglage automatique de la limite inférieure/supérieure, optimisation rapide de l’intensité lumineuse (AAGII) , fonction complémentaire pour intensité lumineuse insuffisamment réfléchie (double scan)

          Mesure de hauteur

          Résolution d’affichage

          5 nm

          Échelle linéaire

          Plage dynamique

          16 bits

          Précision de répétition σ

          Confocal laser

          20 x, 40 nm; 50 x, 20 nm

          Variation de la mise au point

          5 x, 500 nm; 10 x, 100 nm; 20 x, 50 nm; 50 x, 30 nm

          Plage d’acquisition des données de hauteur

          0,7 millions de niveaux

          Précision

          0,2 + L /100 µm ou plus*3

          Mesure de largeur

          Résolution d’affichage

          10 nm

          Précision de répétition 3σ

          Confocal laser

          20 x, 100 nm; 50 x, 50 nm

          Variation de la mise au point

          5 x, 400 nm; 10 x, 400 nm; 20 x, 120 nm; 50 x, 65 nm

          Précision

          ±2 %*3

          Configuration de platine XY

          Manuelle : Plage d’exploitation

          70 mm x 70 mm

          Motorisée : Plage d’exploitation

          100 mm x 100 mm

          Observation

          Image observée

          Image couleur CMOS haute définition Image couleur laser 16 bits confocale Système optique confocal avec filtre ND Image sous contraste interférentiel différentiel C-laser

          Éclairage

          Éclairage annulaire, éclairage coaxial

          Source de lumière laser pour mesures

          Longueur d’onde

          Laser rouge à semi-conducteur, 661 nm

          Puissance de sortie maximale

          1 mW

          Classe laser

          Appareil à Laser de Classe 2 (IEC60825-1)

          Alimentation électrique

          Tension d’alimentation

          100 à 240 Vc.a., 50/60 Hz

          Consommation électrique

          150 VA

          Poids

          Environ 13,0 kg

          *1 Plein écran de 23 pouces.
          *2 Avec vitesse maximale et utilisation d’une combinaison mode mesure/qualité de la mesure/grossissement de l’objectif. Pour un balayage de lignes de l’ordre avec une variation de mesure de 0,1 µm.
          *3 En cas de mesure d’un échantillon standard (échelle de référence) avec un objectif 20 x (ou supérieur).

          Téléchargements:

          Bibliothèque des systèmes de mesure

          Systèmes de mesure