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          Microscope confocal à balayage laser 3DSérie VK-X

          Système de mesure

          VK-X160K

          [Modèles arrêtés ]

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          SPÉCIFICATIONS

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          Modèle

          VK-X160K

          Grossissement total

          Jusqu'à 19200×*1

          Champ d’observation (plage minimale)

          De 16 µm à 5400 µm

          Cadence

          vitesse de mesure du laser

          De 4 à 120 Hz, 7,900 Hz*2

          Principe de mesure

          Système optique

          Système optique à diaphragme confocal

          Élément récepteur de lumière

          Photomultiplicateur, numérisation 16 bits

          Méthode de balayage (pour les mesures standard et l’assemblage d’images)

          Réglage automatique de la limite inférieure/supérieure, optimisation rapide de l'intensité lumineuse (AAGII),
          fonction complémentaire pour intensité lumineuse insuffisamment réfléchie (double scan)

          Mesure de hauteur

          Résolution Z

          5 nm

          Échelle linéaire

          Plage dynamique (largeur prise en charge pour une lumière réfléchie de la pièce à usiner)

          16 bits

          Précision de répétition σ

          20× : 40 nm, 50× : 20 nm, 100× : 20 nm*3

          Mémoire pour mesure d’axe Z

          1,4 millions de niveaux

          Précision

          0,2 + L/100 µm ou plus*4*5

          Configuration de platine Z

          Structure

          Structure avec tête de mesure détachable

          Hauteur maximale de la cible

          28 mm, 128 mm (en option)

          Mesure de largeur

          Résolution de l’écran

          10 nm

          Précision de répétition 3σ

          20× : 100 nm, 50× : 50 nm, 100× : 30 nm*3

          Précision

          ± 2 %*3

          Configuration de platine XY

          Manuelle : Plage d’exploitation

          70 mm×70 mm

          Motorisée : Plage d’exploitation

          50 mm × 50 mm, 100 mm × 100 mm*6

          Observation

          Image observée

          Image couleur CCD haute résolution
          Image couleur laser 16 bits confocale
          Système optique confocal avec filtre ND
          IMAGE CID C-laser

          Résolution maximale de l’enregistrement

          3072×2304

          Source de lumière laser pour mesures

          Longueur d’onde

          Laser rouge à semi-conducteur, 658 nm

          Puissance de sortie maximale

          0,95 mW

          Classe laser

          Appareil à Laser de Classe 2 (DIN EN60825-1)

          Poids

          Microscope

          Environ 25 kg (sans tête de mesure, environ 8,5 kg)

          Commande

          Environ 11 kg

          *1 Avec moniteur 23 pouces.
          *2 Avec vitesse ma x imale et utilisation d'une combinaison mode mesure/qualité de la mesure/grossissement de l'objectif. Pour un balayage de lignes de l'ordre avec une variation de mesure de 0,1 µm.
          *3 Pour mesure de l'échelle de référence avec objectif 20× (ou supérieur) avec une température ambiante de 20 ± 2 °C. À l'exception du VK-X120/X130 avec objectif 100×.
          *4 Pour mesure de l'échelle de référence avec objectif 20x (ou supérieur) avec une température ambiante de 20 ±2 °C. À l'e x ception du VK-X120/X130 avec objectif 100x.
          *5 L = longuer de mesure verticale en µm
          *6 Avec platine motorisée.

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