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          Microscope confocal à balayage laser 3DSérie VK-X

          VK-X260K

          Système de mesure

          [Modèles arrêtés ]

          Ce modèle a été arrêté.

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          Modèle

          VK-X260K

          Grossissement total

          Jusqu'à 28000×*1

          Champ d’observation (plage minimale)

          De 11 µm à 5400 µm

          Cadence

          vitesse de mesure du laser

          De 4 à 120 Hz, 7,900 Hz*2

          Principe de mesure

          Système optique

          Système optique à diaphragme confocal

          Élément récepteur de lumière

          Photomultiplicateur, numérisation 16 bits

          Méthode de balayage (pour les mesures standard et l’assemblage d’images)

          Réglage automatique de la limite inférieure/supérieure, optimisation rapide de l'intensité lumineuse (AAGII),
          fonction complémentaire pour intensité lumineuse insuffisamment réfléchie (double scan)

          Mesure de hauteur

          Résolution Z

          0,5 nm

          Échelle linéaire

          Plage dynamique (largeur prise en charge pour une lumière réfléchie de la pièce à usiner)

          16 bits

          Précision de répétition σ

          20× : 40 nm, 50× : 12 nm, 150× : 12 nm*3

          Mémoire pour mesure d’axe Z

          14 millions de niveaux

          Précision

          0,2 + L/100 µm ou plus*4*5

          Configuration de platine Z

          Structure

          Structure avec tête de mesure détachable

          Hauteur maximale de la cible

          28 mm, 128 mm (en option)

          Mesure de largeur

          Résolution de l’écran

          1 nm

          Précision de répétition 3σ

          20× : 100 nm, 50× : 40 nm, 150× : 20 nm*3

          Précision

          ± 2 %*3

          Configuration de platine XY

          Manuelle : Plage d’exploitation

          70 mm×70 mm

          Motorisée : Plage d’exploitation

          50 mm × 50 mm, 100 mm × 100 mm*6

          Observation

          Image observée

          Image couleur CCD haute résolution
          Image couleur laser 16 bits confocale
          Système optique confocal avec filtre ND
          IMAGE CID C-laser

          Résolution maximale de l’enregistrement

          3072×2304

          Source de lumière laser pour mesures

          Longueur d’onde

          Laser violet, 408 nm

          Puissance de sortie maximale

          0,95 mW

          Classe laser

          Appareil à Laser de Classe 2 (DIN EN60825-1)

          Poids

          Microscope

          Environ 26 kg (sans tête de mesure, environ 10 kg)

          Commande

          Environ 11 kg

          *1 Avec moniteur 23 pouces.
          *2 Avec vitesse ma x imale et utilisation d'une combinaison mode mesure/qualité de la mesure/grossissement de l'objectif. Pour un balayage de lignes de l'ordre avec une variation de mesure de 0,1 µm.
          *3 Pour mesure de l'échelle de référence avec objectif 20× (ou supérieur) avec une température ambiante de 20 ± 2 °C. À l'exception du VK-X120/X130 avec objectif 100×.
          *4 Pour mesure de l'échelle de référence avec objectif 20x (ou supérieur) avec une température ambiante de 20 ±2 °C. À l'e x ception du VK-X120/X130 avec objectif 100x.
          *5 L = longuer de mesure verticale en µm
          *6 Avec platine motorisée.

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          Téléchargements

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          Systèmes de mesure