Contrôleur VK-X3000

VK-X3000 - Contrôleur

  • CE Marking
  • CSA

Spécifications

Modèle

VK-X3000

Type

Contrôleur

Grossissement total

42× à 28800×*1

Champ de vision

11 à 7398 μm

Principe de mesure

Balayage laser confocal, variation de la mise au point, interférométrie en lumière blanche, interférence spectrale

Longueur d’onde du laser

VK-X3100: Laser à semi-conducteur, 404 nm
VK-X3050: Laser à semi-conducteur, 661 nm

Vitesse de mesure laser max.

Surface : 125 Hz, Ligne : 7900 Hz*2

Puissance laser max.

0,9 mW

Classe laser

Classe 2 (IEC60825-1)

Élément récepteur de lumière laser

Photomultiplicateur 16 bits

Source lumineuse blanche

LED blanche

Élément récepteur de lumière blanche

CMOS couleur haute définition

Balayage laser confocal

Résolution d’affichage de la hauteur

VK-X3100: 0,1 nm
VK-X3050: 1 nm

Répétabilité de la hauteur σ

VK-X3100: 10× : 100 nm, 20× : 40 nm, 50× : 12 nm
VK-X3050: 10× : 100 nm, 20× : 40 nm, 50× : 20 nm

Précision de la hauteur

0,2+L/100 μm max.*3

Résolution d’affichage de la largeur

VK-X3100: 0,1 nm
VK-X3050: 1 nm

Répétabilité de la largeur 3σ

VK-X3100: 10× : 200 nm, 20× : 100 nm, 50× : 40 nm
VK-X3050: 10× : 400 nm, 20× : 100 nm, 50× : 50 nm

Précision de la largeur

Valeur mesurée ±2% max.*3

Variation de la mise au point

Résolution d’affichage de la hauteur

VK-X3100: 0,1 nm
VK-X3050: 1 nm

Répétabilité de la hauteur σ

VK-X3100: 5× : 500 nm, 10× : 100 nm, 20× : 50 nm, 50× : 20 nm
VK-X3050: 5× : 500 nm, 10× : 100 nm, 20× : 50 nm, 50× : 30 nm

Précision de la hauteur

0,2+L/100 μm max.*3

Résolution d’affichage de la largeur

VK-X3100: 0,1 nm
VK-X3050: 1 nm

Répétabilité de la largeur 3σ

VK-X3100: 5× : 400 nm, 10× : 400 nm, 20× : 120 nm, 50× : 50 nm
VK-X3050: 5× : 400 nm, 10× : 400 nm, 20× : 120 nm, 50× : 65 nm

Précision de la largeur

Valeur mesurée ±2% max.*3

Interférométrie en lumière blanche

Résolution d’affichage de la hauteur

0,01 nm

Résolution d’affichage de la largeur

0,1 nm

Répétabilité de la topographie de surface

0,08 nm*4

Répétabilité de RMS

0,008 nm*4

Mesure de l’épaisseur d’un film par interférence spectrale

Répétabilité σ

0,1 nm*4

Précision

±0,6%*4

Observation optique

Nombre de pixels

5,6 millions

Barillet

Barillet électrique 6 trous

Objectif à éclairage annulaire

2,5×, 5×, 10×

Zoom optique

1 à 8×

Configuration de platine XY

Plage de déplacement manuel

70 mm × 70 mm

Plage de déplacement motorisé

100 mm × 100 mm

Alimentation électrique

Tension d’alimentation

100 à 240 Vc.a., 50/60 Hz

Consommation électrique

150 VA

Résistance à l'environnement

Température ambiante

+15 à 28°C

Humidité relative

20 à 80% HR (pas de condensation)

Poids

Environ 3 kg

*1 Affichage plein écran de 23 pouces.
*2 À la vitesse maximale et en utilisant une combinaison mode de mesure/qualité de mesure/grossissement d’objectif. Avec un intervalle de mesure par balayage linéaire de l’ordre de 0,1 μm.
*3 En cas de mesure d’un échantillon standard avec un objectif 20× ou supérieur.
*4 Valeurs typiques sous conditions de mesure par défaut.

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