Tête de mesure VK-X3050

VK-X3050 - Tête de mesure

  • CE Marking
  • CSA

Spécifications

Modèle

VK-X3050

Type

Tête de mesure

Grossissement total

42× à 28800×*1

Champ de vision

11 à 7398 μm

Principe de mesure

Balayage laser confocal, variation de la mise au point, interférométrie en lumière blanche, interférence spectrale

Longueur d’onde du laser

Laser à semi-conducteur, 661 nm

Vitesse de mesure laser max.

Surface : 125 Hz, Ligne : 7900 Hz*2

Puissance laser max.

0,9 mW

Classe laser

Classe 2 (IEC60825-1)

Élément récepteur de lumière laser

Photomultiplicateur 16 bits

Source lumineuse blanche

LED blanche

Élément récepteur de lumière blanche

CMOS couleur haute définition

Balayage laser confocal

Résolution d’affichage de la hauteur

1 nm

Répétabilité de la hauteur σ

10× : 100 nm, 20× : 40 nm, 50× : 20 nm

Précision de la hauteur

0,2+L/100 μm max.*3

Résolution d’affichage de la largeur

1 nm

Répétabilité de la largeur 3σ

10× : 400 nm, 20× : 100 nm, 50× : 50 nm

Précision de la largeur

Valeur mesurée ±2% max.*3

Variation de la mise au point

Résolution d’affichage de la hauteur

1 nm

Répétabilité de la hauteur σ

5× : 500 nm, 10× : 100 nm, 20× : 50 nm, 50× : 30 nm

Précision de la hauteur

0,2+L/100 μm max.*3

Résolution d’affichage de la largeur

1 nm

Répétabilité de la largeur 3σ

5× : 400 nm, 10× : 400 nm, 20× : 120 nm, 50× : 65 nm

Précision de la largeur

Valeur mesurée ±2% max.*3

Interférométrie en lumière blanche

Résolution d’affichage de la hauteur

0,01 nm

Résolution d’affichage de la largeur

0,1 nm

Répétabilité de la topographie de surface

0,08 nm*4

Répétabilité de RMS

0,008 nm*4

Mesure de l’épaisseur d’un film par interférence spectrale

Répétabilité σ

0,1 nm*4

Précision

±0,6%*4

Observation optique

Nombre de pixels

5,6 millions

Barillet

Barillet électrique 6 trous

Objectif à éclairage annulaire

2,5×, 5×, 10×

Zoom optique

1 à 8×

Configuration de platine XY

Plage de déplacement manuel

70 mm × 70 mm

Plage de déplacement motorisé

100 mm × 100 mm

Alimentation électrique

Tension d’alimentation

100 à 240 Vc.a., 50/60 Hz

Consommation électrique

150 VA

Résistance à l'environnement

Température ambiante

+15 à 28°C

Humidité relative

20 à 80% HR (pas de condensation)

Poids

Environ 13 kg

*1 Affichage plein écran de 23 pouces.
*2 À la vitesse maximale et en utilisant une combinaison mode de mesure/qualité de mesure/grossissement d’objectif. Avec un intervalle de mesure par balayage linéaire de l’ordre de 0,1 μm.
*3 En cas de mesure d’un échantillon standard avec un objectif 20× ou supérieur.
*4 Valeurs typiques sous conditions de mesure par défaut.

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