Az alacsony nyomású mérőérintkező szonda megkönnyíti a háromdimenziós megmunkált alkatrészek mérését, beleértve a felső és oldalsó felületek közötti merőlegességet, valamint a lejtésszögeket.
A mérőrendszerek erős mérőerőt alkalmaznak, ami a kis, könnyű alkatrészeknél elhajlást okozhat. Az alacsony nyomású mérőérintkező szonda rendkívül alacsony, 0,015 N mérőerőt használ.