Fej Többszínű lézer + érintőszondás modell LM-X100TL

modell

LM-X100TL

Típus

Fej

Képszenzor

1”-es, 20 megapixeles monokróm CMOS

Fényérzékelő objektív

Dupla telecentrikus lencse

Képmérés

Látómező

Széles látómezős mérési mód

325 mm × 175 mm

Nagy pontosságú mérési mód

306 mm × 156 mm

Minimális kijelzési egység

0,1 μm

Ismételhetőség

A kamera látómezőjében (2σ)

Széles látómezős mérési mód

±0,5 μm

Nagy pontosságú mérési mód

±0,1 μm

Tárgyasztal mozgásával

X/Y tengely (E1)

±0,9 μm

X/Y sík (E2)

Mérési pontosság

A kamera látómezőjében (2σ)

Széles látómezős mérési mód

±2 μm ^*1

Nagy pontosságú mérési mód

±0,7 μm ^*2

Measurement accuracy

Tárgyasztal mozgásával

X/Y tengely (E1)

±(1,8 + 0,02 L) μm ^*3

X/Y sík (E2)

±(2,8 + 0,02 L) μm ^*3

Magasság mérése

Ismételhetőség

±2 μm

Mérési pontosság

±(4,8 + 0,04 L) μm ^*4

Lézeres magasságmérés

Mérhető tartomány (X/Y)

239 mm × 146 mm

Legkisebb megjeleníthető egység

0,1 μm

Ismételhetőség

±0,6 μm ^*5

Mérési pontosság (EUZ,MPE)

±(4,8 + 0,04 L) μm ^*4

Pont átmérője

ø50 μm

Lézer minősítése

Class 1

Érintőszondás mérés

Mérhető tartomány (X/Y)

248 mm × 141 mm

Mérőerő

0,015 N ^*6

Legkisebb megjeleníthető egység

0,1 μm

Ismételhetőség

X/Y tengely

±1,4 μm

X/Y sík

Z tengely

Mérési pontosság

X/Y tengely (EUX,MPE EUY,MPE)

±(2,8 + 0,02 L) μm ^*7

X/Y sík (EUXY,MPE)

±(3,8 + 0,02 L) μm ^*7

Z tengely (EUZ,MPE)

±(4,8 + 0,04 L) μm ^*4

Külső távirányító bemenete

Nem-feszültség bemenet (érintkezéssel és anélkül)

Külső kimenet

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS kimenet
Névleges terhelés: 24 VDC, 0,5 A
„ON” ellenállás: legfeljebb 50 mΩ

Világító rendszer

Átmenő

Telecentrikus átmenő zöld LED-es megvilágítás

Gyűrű

Négyosztású, többszögű, színes/fehér LED-es megvilágítás (elektromos)
Résgyűrű (irányíthatóság) oldalsó zöld LED-es megvilágítás (elektromos)
Telecentrikus koaxiális fehér LED-es megvilágítás

Külső fényforrás-vezérlés

Fényerő-szabályozó

PWM vezérlés, 100 kHz

Kimeneti feszültség

12 VDC

Kimeneti áramerősség

1,6 A (max.)

XY tárgyasztal

Mozgási tartomány

300 mm × 150 mm
(motoros)

Terhelési ellenállás

7 kg

Z állvány

Mozgási tartomány

75 mm (elektromos)

Tápellátás

Tápfeszültség

100–240 VAC ±10% (50/60 Hz)

Energiafogyasztás

Legfeljebb 150 VA

Környezeti hatások elleni védettség

Környezeti hőmérséklet

+10–35°C ^*8

Relatív páratartalom

20–80% RH (nincs kondenzáció)

Túlfeszültség kategória

ll

Környezetszennyezési mérték

2

Tömeg

Kb. 35 kg