Pontos mérést biztosító nagy sebességű expozíció, amellyel még a vibráló targetek is precízen vizsgálhatók.
A jel-zaj arányt jelentősen javítja, továbbá a mintavételezés sebességét is növeli, hogy a mérésért felelős CMOS perifériás áramkörei egyetlen chipbe kerültek. Az 1000 m/mp-es sebességgel mozgó targetek például kb. 1 mm-es távolsággal mérhetők. Még a gyorsan vibráló munkadarabok is stabilan mérhetők.