Confocale laser scannende verplaatsingsmeter

Excellente resolutie van 0.3 µm

Hoognauwkeurige meetmethode maakt gebruik van het confocale principe en een stemvork

De laserstraal wordt scherpgesteld op het doeloppervlak via een objectief dat tegen hoge snelheid omhoog en omlaag trilt met behulp van een stemvork. De door het doeloppervlak gereflecteerde straal wordt geconvergeerd doorheen een puntgaatje, en gaat daarna het lichtontvangend element binnen. Door meting van de juiste positie van het objectief op het ogenblik dat het licht het lichtontvangend element binnenkomt, kan de doelhoogte worden bepaald. De sensor meet nauwkeurig de afstand tot het doeloppervlak zonder te worden beïnvloed door het materiaal, de kleur of de hoek van het doel.

Verbeterde prestaties

Het coaxiale optische systeem verbetert de meetprestaties