Meetkop VK-X3050

VK-X3050 - Meetkop

  • CE Marking
  • CSA

Specificaties

Model

VK-X3050

Type

Meetkop

Totale vergroting

42× tot 28800×*1

Zichtveld

11 tot 7398 μm

Meetprincipe

Laser confocaal, focusvariatie, witlichtinterferometrie, spectrale interferentie

Lasergolflengte

Halfgeleiderlaser, 661 nm

Max. meetsnelheid van de laser

Oppervlak: 125 Hz, lijn: 7900 Hz*2

Max. uitgangsvermogen van de laser

0,9 mW

Laserklasse

Klasse 2 (IEC60825-1)

Laserlicht ontvangend element

16 bitfotomultiplicator

Witte lichtbron

Witte LED

Wit licht ontvangend element

HD CMOS-kleurenbeeld

Laser confocaal

Displayresolutie hoogte

1 nm

Herhaalbaarheid hoogte σ

10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 20 nm

Nauwkeurigheid hoogte

0,2+L/100 μm of minder*3

Displayresolutie breedte

1 nm

Herhaalbaarheid breedte 3σ

10×: 400 nm, 20×: 100 nm, 50×: 50 nm

Nauwkeurigheid breedte

Gemeten waarde ±2% of minder*3

Focusvariatie

Displayresolutie hoogte

1 nm

Herhaalbaarheid hoogte σ

5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 30 nm

Nauwkeurigheid hoogte

0,2+L/100 μm of minder*3

Displayresolutie breedte

1 nm

Herhaalbaarheid breedte 3σ

5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 65 nm

Nauwkeurigheid breedte

Gemeten waarde ±2% of minder*3

Witlichtinterferometrie

Displayresolutie hoogte

0,01 nm

Displayresolutie breedte

0,1 nm

Herhaalbaarheid oppervlaktopografie

0,08 nm*4

Herhaalbaarheid RMS

0,008 nm*4

Diktemeting van folie met spectrale interferentie

Herhaalbaarheid σ

0,1 nm*4

Nauwkeurigheid

±0,6%*4

Optische waarneming

Aantal pixels

5,6 miljoen

Revolver

Elektrische revolver met 6 gaten

Lens voor ringverlichting

2,5×, 5×, 10×

Optische zoom

1 tot 8×

XY-steunconfiguratie

Bereik voor handmatige bediening

70 mm × 70 mm

Bereik voor gemotoriseerde bediening

100 mm × 100 mm

Voeding

Spanning

100 tot 240 VAC, 50/60 Hz

Stroomverbruik

150 VA

Omgevingsbestendigheid

Omgevingstemperatuur

+15 tot 28°C

Omgevingsvochtigheid

20 tot 80% RH (geen condensatie)

Gewicht

Ongeveer 13 kg

*1 Bij gebruik van een volledig beeldscherm van 23 inch.
*2 Op topsnelheid bij een combinatie van meetmodus/meetkwaliteit/lensvergroting. Wanneer het meetbereik van de lijnscan binnen 0,1 μm is.
*3 Wanneer een standaardmonster wordt gemeten met een 20×-lens of groter.
*4 Typische waarden bij een standaard meetomgeving.

Andere modellen