Tête de mesure VK-X3050

VK-X3050 - Tête de mesure

*Veuillez noter que les accessoires représentés dans l'image sont uniquement à des fins d'illustration et peuvent ne pas être inclus avec le produit.

Fiche technique (PDF)

Spécifications

Modèle		VK-X3050
Type		Tête de mesure
Grossissement total		42× à 28800×^*1
Champ de vision		11 à 7398 μm
Principe de mesure		Balayage laser confocal, variation de la mise au point, interférométrie en lumière blanche, interférence spectrale
Longueur d’onde du laser		Laser à semi-conducteur, 661 nm
Vitesse de mesure laser max.		Surface : 125 Hz, Ligne : 7900 Hz^*2
Puissance laser max.		1,0 mW
Classe laser		Classe 2 (IEC60825-1)
Élément récepteur de lumière laser		Photomultiplicateur 16 bits
Source lumineuse blanche		LED blanche
Élément récepteur de lumière blanche		CMOS couleur haute définition
Balayage laser confocal	Résolution d’affichage de la hauteur	1 nm
	Répétabilité de la hauteur σ	10× : 100 nm, 20× : 40 nm, 50× : 20 nm
	Précision de la hauteur	0,2+L/100 μm max.^*3
	Résolution d’affichage de la largeur	1 nm
	Répétabilité de la largeur 3σ	10× : 400 nm, 20× : 100 nm, 50× : 50 nm
	Précision de la largeur	Valeur mesurée ±2% max.^*3
Variation de la mise au point	Résolution d’affichage de la hauteur	1 nm
	Répétabilité de la hauteur σ	5× : 500 nm, 10× : 100 nm, 20× : 50 nm, 50× : 30 nm
	Précision de la hauteur	0,2+L/100 μm max.^*3
	Résolution d’affichage de la largeur	1 nm
	Répétabilité de la largeur 3σ	5× : 400 nm, 10× : 400 nm, 20× : 120 nm, 50× : 65 nm
	Précision de la largeur	Valeur mesurée ±2% max.^*3
Interférométrie en lumière blanche	Résolution d’affichage de la hauteur	0,01 nm
	Résolution d’affichage de la largeur	0,1 nm
	Répétabilité de la topographie de surface	0,08 nm^*4
	Répétabilité de RMS	0,008 nm^*4
Mesure de l’épaisseur d’un film par interférence spectrale	Répétabilité σ	0,1 nm^*4
	Précision	±0,6%^*4
Observation optique	Nombre de pixels	5,6 millions
	Barillet	Barillet électrique 6 trous
	Objectif à éclairage annulaire	2,5×, 5×, 10×
	Zoom optique	1 à 8×
Configuration de platine XY	Plage de déplacement manuel	70 mm × 70 mm
	Plage de déplacement motorisé	100 mm × 100 mm
Alimentation électrique	Tension d’alimentation	100 à 240 Vc.a., 50/60 Hz
	Consommation électrique	150 VA
Résistance à l'environnement	Température ambiante	+15 à 28°C
	Humidité relative	20 à 80% HR (pas de condensation)
Poids		Environ 13 kg
^1 Affichage plein écran de 23 pouces. ^2 À la vitesse maximale et en utilisant une combinaison mode de mesure/qualité de mesure/grossissement d’objectif. Avec un intervalle de mesure par balayage linéaire de l’ordre de 0,1 μm. ^3 En cas de mesure d’un échantillon standard avec un objectif 20× ou supérieur. ^4 Valeurs typiques sous conditions de mesure par défaut.

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