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Mesure de l'excentricité d'un suscepteur

Eccentricity measurement of a susceptor

Fabrication de semi-conducteurs.

Une excentricité anormale provoque la production de pièces irrégulières.

Avantages

L'échantillonnage à grande vitesse et les mesures de haute précision permettent de réduire le temps de cycle tout en maintenant la même qualité.

Capteur de déplacement à laser ultra-haute vitesse et haute precision