Détection de la position des encoches sur les wafers
Le système de vision détecte la position angulaire des encoches sur les wafers.
La résolution de la caméra de 5 mégapixels et les algorithmes intégrés de l'outil de détection de tache de contour évolutif permettent la détection stable de l'encoche ainsi que l'émission des données de position et de dimensions.
- Avantages
-
Une caméra de 2 mégapixels était utilisée pour détecter la position de l'encoche, mais cette caméra n'avait pas une répétabilité stable. Avec la mise en œuvre du système de la série XG, d'une caméra à grande vitesse de 5 mégapixels et du nouvel outil de détection de tache de contour évolutif, l'encoche a été détectée de manière stable.
-
Système de traitement d’image multi-caméra ultra-rapide et haute capacité
