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Détection de la position des encoches sur les wafers

Position detection of wafer notches

Le système de vision détecte la position angulaire des encoches sur les wafers.

La résolution de la caméra de 5 mégapixels et les algorithmes intégrés de l'outil de détection de tache de contour évolutif permettent la détection stable de l'encoche ainsi que l'émission des données de position et de dimensions.

Avantages

Une caméra de 2 mégapixels était utilisée pour détecter la position de l'encoche, mais cette caméra n'avait pas une répétabilité stable. Avec la mise en œuvre du système de la série XG, d'une caméra à grande vitesse de 5 mégapixels et du nouvel outil de détection de tache de contour évolutif, l'encoche a été détectée de manière stable.

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