Ellenintézkedések a félvezetők és az LCD-k gyártása során – példák
A sztatikus elektromosság elkerülése a lapkák tesztelése során
- Elektrosztatikus károsodás
A sztatikus elektromosság megbízhatóan kiküszöbölhető a lapkák tesztelése során, ha a vizsgálati pont közelébe felszerelünk egy érzékelőt, amely folyamatosan monitorozza a tesztelési területet.
A sztatikus elektromosság megszüntetése a lapkák védőfóliájának lehúzásakor
- Elektrosztatikus károsodás
- Idegen részecskék megtapadása
A sztatikus elektromosság széles területekről is gyorsan eltávolítható. Ha pedig rögzítjük a sztatikus feltöltődés megszüntetésének eredményeit, később könnyebben azonosíthatjuk az esetleges problémákat.
A sztatikus elektromosság megelőzése a szerszám rögzítésekor
- Elektrosztatikus károsodás
A sztatikus feltöltődés gyors elvezetésével megakadályozhatjuk a kisüléseket a szerszám kioldásakor, így elkerülhető a karbantartás, amire más, hagyományos berendezések esetében szükség lenne.
ESD-védelem és minőségbiztosítás
- Elektrosztatikus károsodás
A nagy, ±1 V-os ionegyensúlynak köszönhetően ez az eszköz minden félvezetők gyártásával foglalkozó üzemben biztonságosan használható. Emellett ezzel a megoldással a korábbi sztatikus elvezetési eredményeket is ellenőrizheti, így probléma esetén azonosíthatja az érintett időszakokat.
Sztatikus elektromosság kiküszöbölése a folyadékkristályos üveg villás áthelyezése során
- Idegen részecskék megtapadása
A levegőmentes és energiatakarékos ionizátorok segítségével csökkentheti a levegőfogyasztást a gyárban, ugyanakkor fejlett megoldáshoz jut a sztatikus elvezetéshez.
Sztatikus elektromosság kiküszöbölése a légzuhanynál
- Idegen részecskék megtapadása
Ha ionizátorokat szerel be a légzuhany helyiségébe, hatékonyabban eltávolíthatja a porszemcséket, mivel itt a legnagyobb a kockázata, hogy idegen részecskék kerüljenek a tisztaszobába.
További információért forduljon a KEYENCE vállalathoz.