Zpět na měřicí senzory

Výběř měřicího senzoru

Polovodiče

Neustálý tlak na lepší poměr cena/výkon u polovodičů vyžaduje, aby toto odvětví rychle zavádělo technologie podporující efektivitu. Přesné senzory společnosti KEYENCE poskytují inovativní řešení pro kontrolu obrobků a monitorování vybavení, čímž našim zákazníkům pomáhají poskytovat vysoce kvalitní součásti za konkurenceschopné ceny. Níže se můžete podívat na některá osvědčená řešení.

Zobrazit katalog

Detekování polohy zářezu substrátového disku pomocí 2D laserového profilometru eliminuje riziko minutí zářezu, pokud je substrátový disk mírně zdeformovaný.

2D/3D laserový skener

Řada LJ-X8000

Rozteč pilových drátů se může lišit v závislosti na teplotě a tvaru hlavního válečku. Díky pravidelnému měření rozteče snadno poznáte, kdy je potřeba válečky vyměnit.

Optický mikrometr s mimořádně vysokou rychlostí a přesností

Řada LS-9000

Kontrola tloušťky řezací čepele v pravidelných intervalech snižuje nároky na reakční údržbu. Díky častějším kontrolám lze detekovat uštípnuté hrany tenkých čepelí ještě před jejich selháním. Pomocí dvou protilehlých konfokálních senzorů můžete spolehlivě změřit tloušťku kolem hrany čepele, aniž by došlo k jejímu poškození.

Konfokální laserový měřicí systém

Řada CL-3000

Díky monitorování počáteční polohy koncového efektoru lze detekovat nepatrné změny dříve, než způsobí kolizi mezi substrátovým diskem a nosičem. Použití měřicích senzorů s velkým rozsahem umožňuje měření polohy koncového efektoru skrz průhled.

2D/3D laserový skener

Řada LJ-X8000

Měření profilu okraje substrátového disku. Pokud uživatel vybere některý z kontrolních nástrojů, například výškový rozdíl / šířka nebo úhel, může snadno zahájit měření. Obraz s ultra vysokým rozlišením zaznamenává 3 200 bodů na profil, což zaručuje vysoce přesné měření profilu, které nebylo s běžnými metodami možné.

2D/3D laserový skener

Řada LJ-X8000