Polovodiče

Detekování polohy zářezu substrátového disku pomocí 2D laserového profilometru eliminuje riziko minutí zářezu, pokud je substrátový disk mírně zdeformovaný.

Rozteč pilových drátů se může lišit v závislosti na teplotě a tvaru hlavního válečku. Díky pravidelnému měření rozteče snadno poznáte, kdy je potřeba válečky vyměnit.

Kontrola tloušťky řezací čepele v pravidelných intervalech snižuje nároky na reakční údržbu. Díky častějším kontrolám lze detekovat uštípnuté hrany tenkých čepelí ještě před jejich selháním. Pomocí dvou protilehlých konfokálních senzorů můžete spolehlivě změřit tloušťku kolem hrany čepele, aniž by došlo k jejímu poškození.

Díky monitorování počáteční polohy koncového efektoru lze detekovat nepatrné změny dříve, než způsobí kolizi mezi substrátovým diskem a nosičem. Použití měřicích senzorů s velkým rozsahem umožňuje měření polohy koncového efektoru skrz průhled.

Měření profilu okraje substrátového disku. Pokud uživatel vybere některý z kontrolních nástrojů, například výškový rozdíl / šířka nebo úhel, může snadno zahájit měření. Obraz s ultra vysokým rozlišením zaznamenává 3 200 bodů na profil, což zaručuje vysoce přesné měření profilu, které nebylo s běžnými metodami možné.

Díky malým rozměrům hlavy je možné zařízení řady CL-3000 snadno nainstalovat na přístroje pro přesné měření vzdálenosti. Senzor dokáže přesně měřit difúzní i zrcadlové povrchy, a to bez jakékoli úpravy upevnění.

Speciální sestava senzorové hlavy v součinnosti s funkcí zarovnání optické osy umožňuje snadno a s vysokou přesností měřit tloušťku všech cílů. Díky tomu je možné dosáhnout spolehlivého měření i u substrátových disků s hrubým povrchem.

Vysoce lesklé drážky se nekontaktními měřicími přístroji kontrolují velmi obtížně. Důvodem je difuzní odraz a další faktory. Zařízení řady LJ-X však nabízí jedinečné funkce, které takovéto faktory dokážou potlačit a zajistit tak spolehlivé měření tvaru.