3D Laserscanning-Mikroskop

3D Laserscanning-Mikroskop

Vorteile	Nachteile
- Große Tiefenschärfe; Messobjekt lässt sich in Farbe betrachten - Liefert 3D-Profile und zeigt farbige 3D-Bilder an. Ermöglicht Messungen der Foliendicke bei durchsichtigen Objekten, wie etwa Resist-Material für die Halbleiterherstellung - Es kann eine Analyse bei gewöhnlichen Umgebungsbedingungen durchgeführt werden, so dass keine Vorbehandlung der Probe erforderlich ist. - Kaum Einschränkungen hinsichtlich Größe und Material der Proben; Einfache Bedienung ermöglicht ausgezeichneten Allzweck-Einsatz.	- Keine Messungen unterhalb 1nm möglich - Von den Oberflächen der Probe, auf denen keine Laserstrahlen auftreffen (etwa von den Seiten) können keine Daten erfasst werden. - Oberflächen, die die Wellenlänge des Laserstrahls zu 100% absorbieren, können nicht gemessen werden.

Vorteile

Nachteile

- Große Tiefenschärfe; Messobjekt lässt sich in Farbe betrachten
- Liefert 3D-Profile und zeigt farbige 3D-Bilder an.
Ermöglicht Messungen der Foliendicke bei durchsichtigen Objekten, wie etwa Resist-Material für die Halbleiterherstellung
- Es kann eine Analyse bei gewöhnlichen Umgebungsbedingungen durchgeführt werden, so dass keine Vorbehandlung der Probe erforderlich ist.
- Kaum Einschränkungen hinsichtlich Größe und Material der Proben; Einfache Bedienung ermöglicht ausgezeichneten Allzweck-Einsatz.

- Keine Messungen unterhalb 1nm möglich
- Von den Oberflächen der Probe, auf denen keine Laserstrahlen auftreffen (etwa von den Seiten) können keine Daten erfasst werden.
- Oberflächen, die die Wellenlänge des Laserstrahls zu 100% absorbieren, können nicht gemessen werden.

Ein 3D-Laserscanning-Mikroskop ist ein Betrachtungs- und Messinstrument, das gleichzeitig 3D-Messungen und Betrachtungen mit großer Tiefenschärfe ermöglicht. Es weist kaum Einschränkungen hinsichtlich der Größe oder des Materials der Probe auf und ermöglicht Betrachtungen unter normalen Umgebungsbedingungen. Zudem zeichnen sich 3D-Laserscanning-Mikroskope durch hohe Benutzerfreundlichkeit und einfache Bedienbarkeit aus. Es ist kaum Vorbehandlung der Proben vor dem Messen erforderlich. Die Betrachtung kann in Farbe erfolgen, was zu präzisen Analysen des Messobjekts beiträgt. Ein 3D-Laserscanning-Mikroskop kann auch bei durchsichtigen Objekten verwendet werden, etwa zum Messen der Foliendicke oder zum Betrachten der Oberfläche, des Inneren und der Rückseite.

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