Nagy pontosságú LM fej LM-XC100

LM-XC100 - Nagy pontosságú LM fej

*Felhívjuk figyelmét, hogy a képen látható tartozékok csak illusztrációs célokat szolgálnak, és nem feltétlenül tartoznak a termékhez.

  • CE Marking
  • CSA

Specifikációk

modell

LM-XC100

Típus

Fej

Képmérés

Látómező

Széles látómezős üzemmód [mm]

25 × 25

Nagy pontosságú üzemmód [mm]

6 × 6

Minimális kijelzési egység

0,1 μm

Ismételhetőség

A látómezőn belül (2σ)

Széles látómezős üzemmód

0,5 μm

Nagy pontosságú üzemmód

0,1 μm

Mérési pontosság

Széles látómezős üzemmód

1,8 μm*1

Nagy pontosságú üzemmód

0,7 μm*2

Lézer magassága

Referenciatávolság

Ismételhetőség

Pont átmérője

Linearitás

Lézer minősítése

Érintőszonda

Ismételhetőség

Mérőerő

AF magassága

Ismételhetőség

±2 μm

Megvilágító rendszer

Átmenő

Zöld LED, telecentrikus áttetsző megvilágítás

Koaxiális

Színes LED, fehér LED, négy felosztású többszögű megvilágítás (elektromos)

Zöld LED, résgyűrűs (irányítható) oldalirányú megvilágítás (elektromos)

Fehér LED, telecentrikus koaxiális megvilágítás

Környezeti hatások elleni védettség

Környezeti hőmérséklet

+10 – 35°C*3

Tömeg

9 kg

*1 20 × 20 mm-es tartományban a +23±1°C-os működési környezeti hőmérséklet-tartományon belül a fókuszpont helyzeténél.
*2 5 × 5 mm-es tartományban a +23±1°C-os működési környezeti hőmérséklet-tartományon belül a fókuszpont helyzeténél.
*3 +15 – 35°C az XY tárgyasztal 120 mm/s-os mozgási sebessége mellett.

Adatlap (PDF) Egyéb modellek