XY mérőrendszer

modell

VH-M100E

Tárgyasztal elmozdulási távolsága

100 mm egyenként az X és Y irányokba

Kijelzési felbontás

0,1 μm

Mozgási pontosság

4 + 0,02L (µm)^*1

Teherbírás

3 kg

Névleges értékek

Tápfeszültség

100–240 VAC, 50/60 Hz

Energiafogyasztás

50 VA

Környezeti ellenállás

Környezeti hőmérséklet

+5 – +40 °C

Relatív páratartalom

35% – 80% RH (nincs kondenzáció)

Tömeg

18 kg