3D automatikus mérőegység (S30 tárgyasztalhoz)

modell

VHX-S15F

Motor

5 fázisú léptetőmotor

Pozicionálási pontosság

6 µm^*1

Ismételhetőség

±0,5 µm^*1

Tárgyasztal elmozdulási távolsága

15 mm

Felbontás

0,05 µm/impulzus

Teherbírás

5 kg

Névleges értékek

Tápfeszültség

100–240 VAC, 50/60 Hz

Energiafogyasztás

70 VA

Környezeti ellenállás

Környezeti hőmérséklet

+5 – +40 °C

Relatív páratartalom

35% – 80% RH (nincs kondenzáció)

Tömeg

3,2 kg