vezérlő

modell

VK-X1000

Típus

vezérlő

Teljes nagyítás

Legfeljebb 28 800 ×^*1

Látómező (minimális tartomány)

11–7398 µm

Képfrissítés (lézeres mérési sebesség)

4–125 Hz 7900 Hz^*2

Mérési elv

Optikai rendszer

Nyílásos konfokális optikai rendszer, fókuszeltérés

Fényérzékelő elem

16 bites érzékenység: fotoszorzó, nagy felbontású színes CMOS

Szkennelési módszer (általános mérés és képösszetűzés során)

Felső és alsó határértékek automatikus beállítása, lézer intenzitásának gyors beállítása (AAGII) , automatikus érzékelés és ismételt beolvasás gyenge fényvisszaverés esetén (kettős beolvasás)

Magasság mérése

Kijelzési felbontás

0,5 nm (VK-X1100) , 5 nm (VK-X1050)

Lineáris skála

Dinamikus tartomány

16 bit

Ismételhetőség σ

Lézer konfokális

20×, 40 nm; 50×, 12 nm (VK-X1100)
20×, 40 nm; 50×, 20 nm (VK-X1050)

Fókuszeltérés

5 x, 500 nm; 10 x, 100 nm; 20 x, 50 nm; 50 x, 20 nm (VK-X1100)
5 x, 500 nm; 10 x, 100 nm; 20 x, 50 nm; 50 x, 30 nm (VK-X1050)

Magassági adatgyűjtési tartomány

0,7 millió lépés

Pontosság

0,2 + L /100 µm vagy jobb^*3

Szélesség mérése

Kijelzési felbontás

1 nm (VK-X1100) , 10 nm (VK-X1050)

Ismételhetőség 3σ

Lézer konfokális

20×, 100 nm; 50×, 40 nm (VK-X1100)
20×, 100 nm; 50×, 50 nm (VK-X1050)

Fókuszeltérés

5 x, 400 nm; 10 x, 400 nm; 20 x, 120 nm; 50 x, 50 nm (VK-X1100)
5 x, 400 nm; 10 x, 400 nm; 20 x, 120 nm; 50 x, 65 nm (VK-X1050)

Pontosság

±2 %^*3

XY asztali konfiguráció

Manuális: mozgási tartomány

70 mm × 70 mm

Motorizált: mozgási tartomány

100 mm × 100 mm

Megfigyelés

Kép opciók

Nagy felbontású, színes CMOS-kép; 16 bites, lézeres, színes konfokális kép; konfokális optikai rendszer ND-szűrővel; C lézeres DIC-kép (differenciál interferencia kontrasztos kép)

Megvilágítás

Gyűrűs megvilágítás, koaxiális megvilágítás

Lézeres fényforrás mérésekhez

Hullámhossz

Ibolya félvezető lézer, 404 nm (VK-X1100)
Piros félvezető lézer, 661 nm (VK-X1050)

Maximális kimeneti teljesítmény

1 mW

Lézerbiztonsági osztály

2. osztályú lézertermék (IEC60825-1)

Áramellátás

Tápfeszültség

100–240 VAC, 50/60 Hz

Áramfogyasztás

150 VA

Tömeg

Kb. 3,0 kg