Mérőegység

modell

VK-X260K

Teljes nagyítás

Legfeljebb 28 000 ×^*1

Látómező (minimális tartomány)

11–5400 µm

Képfrissítés

Lézeres mérési sebesség

4–120 Hz 7900 Hz^*2

Mérési elvek

Optikai rendszer

Nyílásos konfokális optikai rendszer

Magasság mérése

Lineáris skála

0,5 nm

Ismételhetőség σ

20×: 40 nm, 50×: 12 nm, 150×: 12 nm^*3

Memória Z-tengely méréséhez

14 millió lépés

Pontosság

0,2 + L /100 µm vagy jobb^*4*5

Szélesség mérése

Kijelzési felbontás

1 nm

Távolságmérés

Ismételhetőség 3σ

20×: 100 nm, 50×: 40 nm, 150×: 20 nm^*3

Szélesség mérése

Pontosság

±2%^*3

XY asztali konfiguráció

Manuális: működési tartomány

70 mm × 70 mm

Motorizált: működési tartomány

50 × 50 mm, 100 × 100 mm^*6

Megfigyelés

Maximális rögzítési felbontás

3072×2304

Súly

Mikroszkóp

Kb. 26 kg (szenzorfej nélkül: kb. 10 kg)

Vezérlő

Kb. 11 kg