Tárgyasztal pozíciójának pontossága
-
Iparág:
- Félvezetők/LCD-k
-
Termékek:
- Mérőszenzorok
A tárgyasztal megállási pozíciójának pontosságát a rendszer érintés nélkül méri. A CL sorozatú szenzorfejek kompaktak, ami csökkenti a telepítéshez szükséges helyet, így több szenzor számára is marad hely. A többszínű, konfokális módszer is képes nagy pontosságú mérést végezni széles tartományban.
