Az elektrosztatikus tokmányok vetületi magassága és síklapúsága
-
Iparág:
- Félvezetők/LCD-k
-
Termékek:
- Mérőszenzorok
A vezérlő a síklapúságot több szenzorfej magasságmérési adatai alapján számítja ki. A CL sorozatú szenzorfejek nem tartalmaznak elektromos alkatrészeket, így nem termelnek hőt. Ez a kialakítás nem változtatja meg a berendezés hőmérsékletét, ami következetes mérést tesz lehetővé.
