A polírozópárnák felületének alakja
-
Iparág:
- Félvezetők/LCD-k
-
Termékek:
- Mérőszenzorok

Korábban a polírozópárnákat a kopás ellenőrzéséhez ki kellett venni a berendezésből, ami állásidővel járt. A CL sorozat kompakt szenzorfejei közvetlenül a berendezésre szerelhetők a polírozópárnák eltávolítás nélküli méréséhez. A polírozópárnák alakja, például a horonymélység a helyükön mérhető.