Szuszceptorok excentricitásának mérése
Félvezetőgyártás
A rendellenes excentricitás hibás alkatrészek létrehozásához vezethet
- Előny
-
A nagy sebességű mintavétel és a nagy pontosságú mérések növelhetik a ciklusidőt
-
Ultranagy sebességű/nagy pontosságú lézeres elmozdulásmérő
