Inspectie van defecten/blaren op IC-mallen
-
Industrie:
- Halfgeleiders/LCD-schermen, Elektronische apparaten
-
Producten:
- Vision
Bij conventionele systemen wordt de inspectie beïnvloed door schittering en de oppervlaktetextuur van het doel. LumiTrax™ maakt het mogelijk om alleen lijnvlekken en gebreken te detecteren.
Defect beeld
LumiTrax™-beeld
