Měřicí hlava: červený polovodičový laser VK-X1050

Model

VK-X1050

Typ

měřicí hlava

Celkové zvětšení

Až 28 800x^*1

Zorné pole (minimální rozsah)

11 až 7398 µm

Počet snímků za sekundu (rychlost laserového měření)

4 až 125 Hz, 7 900 Hz^*2

Princip měření

Optický systém

Štěrbinový konfokální optický systém, proměnlivost ohniska

Osvětlený prvek

16bitové snímání: fotonásobič, barevný snímač CMOS s vysokým rozlišením

Metoda skenování (během obecného měření a spojování obrazu)

Automatické nastavení horní/dolní meze, rychlé nastavení intenzity laserového světla (AAGII), automatická detekce a opětovné skenování v případě špatného odrazu (dvojité skenování)

Měření výšky

Rozlišení displeje

5 nm

Lineární stupnice

Dynamický rozsah

16 bitů

Opakovatelnost σ

Laser konfokální

20x, 40 nm; 50x, 20 nm

Proměnlivost ohniska

5 x, 500 nm; 10 x, 100 nm; 20 x, 50 nm; 50 x, 30 nm

Rozsah pořizování dat výšky

0,7 milionu kroků

Přesnost

0,2 + L / 100 µm nebo lepší^*3

Měření šířky

Rozlišení displeje

10 nm

Opakovatelnost 3σ

Laserový konfokální

20x, 100 nm; 50x, 50 nm

Odchylka zaostření

5 x, 400 nm; 10 x, 400 nm; 20 x, 120 nm; 50 x, 65 nm

Přesnost

±2 %^*3

Konfigurace stojanu XY

Ruční: Rozsah pohybu

70 mm x 70 mm

Automatická: Rozsah pohybu

100 mm x 100 mm

Pozorování

Možnosti obrazu

Barevný CMOS s vysokým rozlišením 16bitový laserový barevný konfokální obraz Konfokální optický systém s ND filtrem C-laser DIC (diferenciální interferenční obraz)

Osvětlení

Kruhové osvětlení, koaxiální osvětlení

Laserový světelný zdroj pro měření

Vlnová délka

Červený polovodičový laser, 661 nm

Maximální výkon

1 mW

Třída laseru

Laserový produkt třídy 2 (IEC60825-1)

Napájecí zdroj

Napájecí napětí

100 až 240 V AC 50/60 Hz

Spotřeba proudu

150 VA

Hmotnost

Cca 13,0 kg