Tloušťka substrátového disku po broušení
-
Odvětví:
- Polovodiče/LCD
-
Produkty:
- Měřicí senzory
Řada CL je vybavena speciálním upínacím zařízením senzorové hlavy pro měření tloušťky a funkci zarovnání optické osy, která podporuje provádění měření tloušťky s nebývalou přesností. To umožňuje stabilní měření substrátových disků s drsným povrchem okamžitě po broušení.
