Přesnost polohy podložky

Přesnost polohy zastavení je měřena bezkontaktně. Senzorové hlavy řady CL jsou kompaktní, což zmenšuje prostor nutný pro instalaci a ponechává prostor pro více senzorů. Také vícebarevná konfokální metoda umožňuje provádění velmi přesných měření v širokém rozsahu.