Výška na zařízení pro odstředivé potahování
-
Odvětví:
- Polovodiče/LCD
-
Produkty:
- Měřicí senzory

Pro udržení stabilní přesnosti povlakování je důležité přesně nastavit vzdálenost mezi nanášecí hlavou a substrátovým diskem. Kompaktní hlavy řady CL lze snadno instalovat na zařízení, takže lze provádět přesná měření vzdálenosti i na zrcadlových površích, jako jsou křemíkové substrátové disky.