Deformace substrátového disku přes křemenné sklo
-
Odvětví:
- Polovodiče/LCD
-
Produkty:
- Měřicí senzory

Deformace substrátového disku se měří ve vakuu nebo při vysoké teplotě přes křemenné sklo. Senzorové hlavy řady CL jsou kompaktní, takže je lze instalovat v omezených prostorech s průzory. Řada CL je dokáže měřit cílové s jakýmikoli povrchovými podmínkami.