Výška projekce a rovinnost elektrostatických sklíčidel
-
Odvětví:
- Polovodiče/LCD
-
Produkty:
- Měřicí senzory
Řídicí jednotka vypočítá rovinnost na základě údajů o měření výšky z několika senzorových hlav. Senzorové hlavy řady CL neobsahují žádné elektrické součásti, takže negenerují žádné teplo. Tato konstrukce nemění teplotu zařízení, což umožňuje stabilní měření.
