Poloha osy Z žíhacích strojů
-
Odvětví:
- Polovodiče/LCD
-
Produkty:
- Měřicí senzory
Výšku substrátového disku lze měřit během žíhání laserem. Kompaktní senzorové hlavy řady CL lze instalovat v prostorově omezených oblastech. Koaxiální metoda měření zajišťuje, že měřicí bod zůstává ve stejné poloze bez ohledu na vzdálenost mezi senzorem a cílovým objektem, což umožňuje přesné měření.
